La película se ponía sobre la máscara en procesos más antiguos para evitar que las partículas provocaran defectos. Pero con EUV, las películas existente no funcionaban, lo cual supone mayores costes de producción y mayor tasa de fallos con superficies mayores.
Las herramientas que se emplean en la litografía del ultravioleta extremo, necesarias para la fabricación de los últimos nodos, se están vendiendo bien últimamente. En este sector sólo hay una fabricante: ASML aunque la teoría del tema no deja de ser accesible por cualquiera.